國內做高壓氦氣瓶組的廠家，國內做高壓氦氣集裝格的廠家廠務管理控制系統對于壓縮空氣系統、真空系統及大宗氣體系統的工作范圍和功能進行監控。

4.6.4 空氣壓縮機電機為非變頻時，應監控空氣壓縮機是在滿載狀態運行，還是在空載狀態運行。當空氣壓縮機電機為變頻運行時，應監控運行頻率。

4.6.5 管線壓力是壓縮空氣系統的重要運行參數。

國內做高壓氦氣瓶組的廠家，國內做高壓氦氣集裝格的廠家壓縮空氣的露點溫度是系統運行的重要參數。

4.6.7 真空泵的啟停狀態是真空系統運行的重要參數。

4.6.8 真空度參數的測試點的位置可選擇緩沖真空罐上或真空主管線上。

4.6.9 氣體管線閥門的開關狀態和氣體傳感器及純化分析儀參數是大宗氣體系統運行的重要參數。

國內做高壓氦氣瓶組的廠家，國內做高壓氦氣集裝格的廠家氣體檢測系統報警信號應實時傳遞給廠務管理控制系統。

1 純水站系統監控應對純水系統的運行工況進行監視、控制、測量和記錄。

4.7.2 純水系統的監控系統宜獨立設置。

4.7.3 純水站監控系統應實現設備的全自動運行，國內做高壓氦氣瓶組的廠家，國內做高壓氦氣集裝格的廠家同時也可通過手動功能加以控制。

4.7.4 反滲透系統的啟動、運行和沖洗等過程均應實現自動控制。反滲透裝置還應設置現場控制盤，在現場儀表盤可讀出反滲透系統的相關工藝參數，且可操作進水高壓泵的啟停和相關閥門。

4.7.5 反滲透裝置的高壓泵進出口應分別設置壓力傳感器，國內做高壓氦氣瓶組的廠家，國內做高壓氦氣集裝格的廠家在壓力過低或過高時聯動啟停高壓泵。每套反滲透裝置的進水、段間和濃水口宜設置壓力變送器。

4.7.6 反滲透裝置投入運行時，宜在高壓泵出口設置慢開閥門。

4.7.7 水泵應設置聯鎖與報警功能；原水泵、增壓泵、反洗泵應根據相應的水箱液位自動控制啟停，并應聯動整個系統設備的啟停。

4.7.8 存放液體的箱、罐、池都應有液位開關或遠程連續式液位變送器。水箱的液位信號應在管理層系統中顯示。國內做高壓氦氣瓶組的廠家，國內做高壓氦氣集裝格的廠家超純水水箱液位宜采用連續監測。